根据国家标准化管理委员会、民政部《团体标准管理规定》和《浙江省分析测试协会“浙江测试”团体标准管理办法》的相关规定，《制备碳化硅半导体材料用化学气相沉积法(CVD)外延设备》（标准编号：T/ZJATA 0017-2023)浙江测试团体标准经本协会批准，自2023年7月20日起实施。
特此公告。
浙江省分析测试协会
2023年6月20日
浙江省分析测试协会关于发布《制备碳化硅半导体材料用化学气相沉积法(CVD)外延设备》标准的公告.pdf
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根据国家标准化管理委员会、民政部《团体标准管理规定》和《浙江省分析测试协会“浙江测试”团体标准管理办法》的相关规定，《制备碳化硅半导体材料用化学气相沉积法(CVD)外延设备》（标准编号：T/ZJATA 0017-2023)浙江测试团体标准经本协会批准，自2023年7月20日起实施。
特此公告。
浙江省分析测试协会
2023年6月20日
浙江省分析测试协会关于发布《制备碳化硅半导体材料用化学气相沉积法(CVD)外延设备》标准的公告.pdf