中关村光电产业协会关于批准发布《MEMS高深宽比结构深度测量方法 光谱反射法》团体标准的公告

各相关单位：

根据国家标准化管理委员会《团体标准管理规定》以及《中关村光电产业协会团体标准管理办法》的有关规定，经审查，《MEMS高深宽比结构深度测量方法 光谱反射法》团体标准符合标准制定全部程序，编号为T/ZOIA 30001-2022，现予以公布，自2022年12月29日起实施。

特此公告。

 

 

 

中关村光电产业协会

2022年12月29日

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