各有关单位：
根据《广东省真空学会团体标准管理办法》规定，由中山火炬职业技术学院牵头制定的《光学真空镀膜职业技能等级规范》，以及季华实验室牵头制定的《半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试规范》团体标准，业已通过专家审定并经公示无异议。经学会批准和编号，现对该2项团体标准予以发布，于2022年3月28日起实施。标准编号和名称如下：
T/GVS 004—2022《光学真空镀膜职业技能等级规范》
T/GVS 005—2022《半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试规范》
在标准使用过程若有疑问，请径向学会联系。
联系人：唐振方 13609644416
广东省真空学会
2022年3月28日
广东省真空学会关于发布《光学真空镀膜职业技能等级规范》《半导体装备用绝压式电容薄膜真空计比对法测试规范》等2项团体标准的公告（粤真发〔2022〕02号）.pdf