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中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟关于批准《碳化硅单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法》团体标准发布的公告

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各相关单位:

根据《中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟团体标准管理办法》的相关规定,现批准发布《碳化硅单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法》(T/IAWBS 016-2022)团体标准。上述标准自2022年3月17日发布,自2022年3月24日起实施。

现予公告。

2号-批准发布《碳化硅单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法》.pdf


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