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中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟关于批准发布《碳化硅单晶抛光片位错密度的测试方法》 等两项团体标准的公告

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各相关单位:

根据《中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟团体标准管理办法》的相关规定,现批准发布《碳化硅单晶抛光片位错密度的测试方法》(T/IAWBS 014-2021)和《氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法》(T/IAWBS 015-2021)团体标准。上述标准自2021年9月15日发布,自2021年9月22日起实施。

现予公告。


中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟

2021 年 9 月 15 日

2号-批准发布《碳化硅单晶抛光片位错密度的测试方法》等两项标准的公告.pdf

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