各有关单位：
根据《团体标准管理规定》及《集成电路材料产业技术创新联盟标准制定程序》要求，经联盟标准委员会审议通过，现批准发布如下2项团体标准：
T/ICMTIA 1-2019《集成电路材料产业技术创新联盟气体基础规范》
T/ICMTIA 2-2019《集成电路用过氧化氢》
以上标准于2019年4月17日发布，并于2019年10月10日开始实施，特此公告。
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
二零一九年四月十七日
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各有关单位：
根据《团体标准管理规定》及《集成电路材料产业技术创新联盟标准制定程序》要求，经联盟标准委员会审议通过，现批准发布如下2项团体标准：
T/ICMTIA 1-2019《集成电路材料产业技术创新联盟气体基础规范》
T/ICMTIA 2-2019《集成电路用过氧化氢》
以上标准于2019年4月17日发布，并于2019年10月10日开始实施，特此公告。
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
二零一九年四月十七日